半导体行业超纯水TOC检测方法
TOC的检测方法很多,在不同的应用领域,由于被测水样中有机物含量的差别,会采用不同的检测方法,主要常见的有:
1. 湿法氧化(过硫酸盐)- 非色散红外探测(NDIR)
该方法是在氧化之前经磷酸处理待测样品,去除无机碳,而后测量TOC浓度。现代的TOC连续分析仪中,绝大部分都是湿法氧化。此法通常用于水样中可溶性有机碳的测定,对于复杂水样氧化不充分,所以不适用TOC含量高的水样品,但对于常规水样如地表水是可以的。这种方法操作复杂,需样品前处理;而且会造成挥发性有机碳的损失;运行成本较高。
2. 高温催化燃烧氧化-非色散红外探测(NDIR)
就是纯水设备样品在催化剂的作用下高温燃烧,产生CO2。适用于污染较重的江河,海水以及工业废水等水体。这种方法的缺点在于:氧化温度难以控制;氧化不完全;由于加热炉污染物堆积以及红外试验台污染,需要每隔 2-3 天进行一次校正。
3. 紫外氧化 - 非色散红外探测(NDIR)
采用紫外光(185nm)进行照射的原理,在样品进入紫外反应器之前去除无机碳,得到精确结果。该法对于颗粒度有机物,蛋白质等高TOC含量是不适用的。
4. 紫外(UV)-湿法(过硫酸盐)氧化 - 非色散红外探测(NDIR)
是紫外氧化与湿法氧化两者协同作用的一种方法,氧化降解效果优于其中任何一种方法,可测量污染较重的水样。适用性广,可测范围广泛,普及度高,技术成熟。
5. 电阻法
近年来开始应用。其原理是在温度补偿前提下,测量样品在紫外线氧化前后电阻率的差值来实现的。该方法对水样的来源要求比较严格,只能用于相对洁净度高的工业用水和纯水,应用方向单一。
6. 紫外吸收光谱法
该方法最早的使用可追溯到1972年,其原理主要是依靠254nm处紫外吸光度值(A)与水中TOC之间的线性关系。具有快速,不接触测量,重复性好,维护量少等优点,经过几十年的发展,其应用得到飞速发展。
7. 电导法
该方法涉及的纯水设备主要器件是电导池,由参比电极,测量电极,气液分离器,离子交换树脂,反应盘管,NaOH电导液等组成。优点:价格低,易普及,缺点是稳定性差。
8. 臭氧氧化法
利用臭氧的强氧化性,采用臭氧氧化作为TOC的检测技术,反应速度快,无二次污染。此方法应用前景可观。
9. 超声空化声致发光法
这一独特的方法具有无二次污染,无需添加试剂,设备简单等优点。
以上方法的基本原理都是:先把水中不同形式的有机碳通过氧化转化为易定量测定的二氧化碳,消除干扰因素后由二氧化碳检测器测定,利用CO2与TOC之间碳含量的对应关系,再由数据处理把二氧化碳含量转换成水中有机物的浓度。经过不断的研究实验,TOC检测方法从传统的复杂技术渐渐变成便捷准确。纯水设备,北京纯水设备
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